應(yīng)用領(lǐng)域
本設(shè)備主要用于超精密元件的高度、深度尺寸測(cè)量,采用激光共焦檢測(cè)傳感器對(duì)各類盲孔深度、元件臺(tái)階、平面度進(jìn)行精密測(cè)量,可對(duì)復(fù)雜表面重建基準(zhǔn)面求差,搭配CCD視覺定位,自動(dòng)上下料快速定點(diǎn)檢測(cè),可代替光學(xué)三次元;
優(yōu)勢(shì)
* 可搭載多品牌激光共焦傳感器、3D線掃傳感器,速度/精度可選;
* 激光共聚焦掃描參數(shù)針對(duì)深孔采集最優(yōu)化,自研濾噪算法,經(jīng)過行業(yè)驗(yàn)證;
* 行業(yè)首創(chuàng),OK/NG復(fù)檢路徑多樣化,XY二維插補(bǔ)掃描,避免孔內(nèi)偏針,PCB來料偏移,輕微氧化等引起的誤報(bào);
* 最大化孔徑深比:1比10;
* PCB平面區(qū)域分段補(bǔ)償功能,減小PCB板彎誤差影響,偏差過大報(bào)警功能;
* 高精度運(yùn)動(dòng)部件+全局標(biāo)定補(bǔ)償,XYZ重復(fù)精度0.01mm,滿足1.4米大板雙頭掃描檢測(cè);
* 搭載復(fù)檢相機(jī),人工可實(shí)時(shí)觀察孔內(nèi)針腳有無(wú);
主要參數(shù)
1、檢測(cè)功能:測(cè)量盲孔深度、元件臺(tái)階、平面度、位置度等
2、檢測(cè)效率:激光共焦掃描速度 MAX 40mm/s(1維)
3、分辯率:0.01 um
4、平面尺寸: 1400 x 610 mm (雙工位)
測(cè)量原理
1、彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光,通過色散鏡頭后,在量程范圍內(nèi) 形成不同波長(zhǎng)的單色光,每個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面反射回來,只有滿足 共聚焦條件的光,可以通過小孔被光譜儀感測(cè)到,通過計(jì)算被感測(cè)到光的焦點(diǎn)的波長(zhǎng),換算獲得距離值。
2、通過CCD定位引導(dǎo)激光共聚焦頭不停掃描,得到每行截面數(shù)據(jù)。
截面數(shù)據(jù)圖示
測(cè)量原理
應(yīng)用場(chǎng)景
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