簡述了平面度測(cè)量和評(píng)價(jià)方法。
平整度誤差指實(shí)際測(cè)量面到理想平面的距離。平面度誤差測(cè)量方法與直線度誤差測(cè)量方法相似。平面度測(cè)量其中包含了間隙法，激振法，光軸，干涉法，液面法，水平儀，自準(zhǔn)直儀和坐標(biāo)測(cè)量法。平面度測(cè)量方法與直線度誤差測(cè)量方法相似，根據(jù)其測(cè)量原理，可以分為三種方法。只有第三種方法需要對(duì)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，才能得到精度較高的結(jié)果。按對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)處理方法的不同，可分為兩類。首先，測(cè)量點(diǎn)的測(cè)量結(jié)果不需要進(jìn)行累加計(jì)算或坐標(biāo)變換等處理，測(cè)量點(diǎn)的測(cè)量結(jié)果可以看作是相互獨(dú)立的，如坐標(biāo)測(cè)量機(jī)法、光軸測(cè)量法、同位素法等；另外，直接測(cè)量點(diǎn)測(cè)量的結(jié)果也要進(jìn)行累積計(jì)算或坐標(biāo)變換等處理，如水平儀、自準(zhǔn)直等。它對(duì)單點(diǎn)測(cè)量不確定度的確定方法與直線度誤差相同。
評(píng)估方法有最小包容區(qū)域法、最小二乘法、對(duì)角平面法和三遠(yuǎn)點(diǎn)平面法。
1.最低區(qū)域法。
最小化范圍方法是將實(shí)際測(cè)量的平面與彼此平行的兩個(gè)平面相結(jié)合，用最小范圍方法所評(píng)定的平面度誤差來表示兩個(gè)平面間的距離。所遵循的原則是兩平行面與被測(cè)面之間至少有四個(gè)接觸點(diǎn)。這些點(diǎn)需要滿足交回準(zhǔn)則或三角準(zhǔn)則。用最小區(qū)域法計(jì)算的誤差值最小，可作為最終仲裁的依據(jù)。
兩個(gè)最小平方平面法。
平面度誤差的最小二乘法評(píng)定，評(píng)定的基準(zhǔn)平面是最小二乘面，最小二乘面的確定是利用各被測(cè)點(diǎn)到平面距離的平方和為最小。求出每一點(diǎn)相對(duì)于平面的最大偏離值與最小偏離值之差為平面度誤差。這些點(diǎn)上面是正數(shù)，下面是負(fù)數(shù)。
3.對(duì)角線法和三點(diǎn)法。
對(duì)角法的基準(zhǔn)平面是包含一個(gè)對(duì)角線的兩個(gè)對(duì)角點(diǎn)，它與另一個(gè)對(duì)角線平行的平面SDL。
三遠(yuǎn)點(diǎn)法的基準(zhǔn)平面是包含在實(shí)際平面上的三個(gè)點(diǎn)的STP平面，該平面STP的方程可以直接從三點(diǎn)的坐標(biāo)系得到。
經(jīng)SDL、STP對(duì)基準(zhǔn)平面進(jìn)行評(píng)定后，再求出各點(diǎn)相對(duì)于該平面的最大偏離值與最小偏離值之差作為平面度誤差。這些點(diǎn)上面是正數(shù)，下面是負(fù)數(shù)。
從總體上看，最小二乘平面法計(jì)算簡單方便，下面以最小二乘平面法為例介紹平面度的評(píng)定步驟。
最小二乘平面度模型
在直角坐標(biāo)系中，如下圖所示，得到平面上n點(diǎn)的坐標(biāo)值。
假設(shè)測(cè)得的點(diǎn)坐標(biāo)為(x,y,z)，最小二乘面為：z=ax+c，其中a,b,c是待測(cè)參數(shù)。依據(jù)最小二乘法原理，得到最小二乘面的待定參數(shù)a,b,c：
若將最大坐標(biāo)距離(XM,YM,ZM)與最小坐標(biāo)距離(XL,YL,ZL)進(jìn)行比較，得到的平面度誤差為：


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